炭化タンタルコーティング半月部

Semicorex 炭化タンタル コーティング ハーフムーン パーツは、エピタキシャル堆積プロセスでの応用を目的とした高度に特殊化されたコンポーネントです。このタンタルカーバイドでコーティングされたハーフムーン部品は、高温への耐性、優れた耐久性、比類のない化学的不活性性が不可欠な環境において極めて重要です。

炭化タンタル コーティング ハーフムーン パーツは高純度の炭化タンタルで構成されており、優れた熱伝導率と高温や熱衝撃に対する優れた耐性を備えています。 TaC コーティングは、エピタキシャル リアクターに典型的な腐食性化学物質や過酷な環境に対する追加の保護層を提供します。コーティングにより部品の耐久性と寿命が向上し、複数のサイクルにわたって一貫したパフォーマンスが保証されます。

炭化タンタル コーティングのハーフムーン パーツは 2200°C までの温度に耐えることができるため、高温プロセスに最適です。シリコンやその他の半導体材料との反応性が低く、エピタキシャル層の完全性を維持します。

炭化タンタル コーティングのハーフムーン部品は、主に半導体産業、特に炭化ケイ素のエピタキシャル成長で使用されます。研究および産業規模のエピタキシャル反応炉の両方での使用に適しています。