炭化タンタルコーティングリング

Semicorex タンタルカーバイドコーティングリングは、半導体プロセスで使用される重要な部品です。半導体機械内のグラファイトコンポーネントの効率と寿命を向上させるために複数の機能を果たす特殊なコーティングを使用して設計されています。この TaC コーティングは、極端な条件に耐え、高温環境でも最適なパフォーマンスを維持するように設計されており、2200°C を超える温度でも信頼性の高い動作を保証します。

タンタルカーバイドコーティングリングの主な特徴と利点は次のとおりです。

長寿命: タンタルカーバイドコーティングリングのコーティングの主な機能は、化学反応に対する保護バリアを提供し、不純物の外層への移動や結晶成長を妨げることにより、グラファイトコンポーネントの寿命を延ばすことです。これにより、運用寿命が大幅に向上し、メンテナンスの頻度が減少します。

温度安定性: 卓越した温度安定性により、炭化タンタル コーティング リングは極度の熱条件下でも確実に動作し、高温が蔓延する半導体処理環境で一貫したパフォーマンスを保証します。

耐薬品性: 炭化タンタルコーティングリングのコーティングは、水素 (H2)、アンモニア (NH3)、シラン (SiH4)、シリコン (Si) などのさまざまな過酷な化学物質に対する耐性を備え、半導体で一般的に遭遇する化学的に攻撃的な環境で重要な保護を提供します。製造プロセス。

熱衝撃耐性: タンタルカーバイドコーティングリングの熱衝撃に対する耐性が強化されているため、急激な温度変動時の構造損傷のリスクが最小限に抑えられ、それによって動作サイクルが加速され、全体的な効率が向上します。

グラファイトへの強力な接着: 炭化タンタルコーティングリングのコーティングはグラファイト基材への強力な接着を示し、コーティングによく関係する層間剥離の問題を防ぎます。これにより、コーティング剥離のリスクがなく、長寿命と一貫した性能が保証されます。

高純度: 超高純度レベルのタンタルカーバイドコーティングリングは、不必要な不純物や汚染物質を除去し、半導体プロセスの完全性と清浄性を確保し、歩留まりの向上と品質結果の向上に貢献します。