TaCコーティング 上半月

Semicorex TaC コーティング アッパー ハーフムーンは、半導体製造分野で高効率のエピタキシャル プロセスを実現するために特別に設計されたコンポーネントです。TaC コーティング アッパー ハーフムーン ピースは、エピタキシャル リアクターにシームレスにフィットするように設計されており、極端な条件下でも優れた耐久性と安定性を提供します。

TaC コーティングは高温に対する優れた耐性を備えているため、TaC コーティング アッパー ハーフムーンはエピタキシャル プロセスの厳しい熱環境に最適です。これにより、一貫したパフォーマンスと寿命が保証され、交換の頻度とダウンタイムが削減されます。 TaC コーティング アッパー ハーフムーンは、エピタキシャル成長で一般的に使用される腐食性ガスや化学物質に耐えることができ、コンポーネントの完全性を保護し、プロセスの純度を維持します。

滑らかで均一な TaC コーティングにより、欠陥や不純物が最小限に抑えられ、エピタキシャル層の品質が向上します。これは、半導体デバイスの歩留まりの向上と優れた電子特性に貢献します。耐熱性と耐薬品性の組み合わせにより、TaC コーティング アッパー ハーフムーンの動作寿命が延長され、半導体製造における高いスループットと効率を維持するためのコスト効率の高いソリューションが提供されます。

アプリケーション:

高温化学気相成長 (CVD) プロセス

炭化ケイ素 (SiC) と窒化ガリウム (GaN) のエピタキシー

技術仕様:

材質: 炭化タンタル (TaC) コーティング

温度範囲: 最大 2200°C

耐薬品性: HF、HCl、その他の腐食性ガスに対して優れています。

寸法: 特定の反応器モデルに合わせてカスタマイズ可能

Semicorex TaC コーティング アッパー ハーフムーンは、効率が向上し、汚染リスクが低減された高品質のエピタキシャル層を実現するために不可欠なコンポーネントです。その高度な材料特性と精密なエンジニアリングにより、半導体産業における貴重な資産となり、次世代電子デバイスの製造をサポートします。