TaCコーティング遊星プレート

Semicorex TaC コーティング遊星プレートは、MOCVD システム用に特別に設計された高性能コンポーネントです。最適な耐久性と熱安定性を実現するように設計されたこの TaC コーティング遊星プレートは、半導体製造プロセスにおける均一な蒸着と高品質の膜成長を保証するために不可欠です。

TaC コーティング遊星プレートは、その並外れた硬度、熱伝導性、耐化学腐食性で知られる高級タンタルカーバイドから作られており、高温条件下でも長い耐用年数と一貫した性能を保証します。炭化タンタルの優れた熱安定性により、プレートは MOCVD プロセス中に遭遇する極端な温度に耐えることができ、構造の完全性と性能の一貫性が維持されます。

III-V族半導体、窒化物、酸化物、その他の化合物材料の堆積を含む、さまざまなMOCVDアプリケーションに適しています。 TaC コーティング遊星プレートの設計は、さまざまなリアクター構成と基板サイズに対応し、さまざまな製造要件に柔軟に対応します。

Semicorex TaC コーティング プラネタリー プレートに投資して、半導体プロセスで比類のない信頼性と効率を実現します。半導体製造の要求を念頭に置いて設計されており、最先端のエンジニアリングと材料科学の証となります。