TaC コーティングされたサセプタ

Semicorex TaC コーティングサセプタは、グラファイトベース材料から作られ、性能と耐久性を向上させるために炭化タンタル (TaC) でコーティングされています。

タンタルカーバイドは優れた熱安定性を備えているため、TaC コーティングサセプターは化学気相成長 (CVD) や物理気相成長 (PVD) などのプロセスで頻繁に遭遇する非常に高い温度に耐えることができます。また、TaC コーティングは、化学反応、酸化、腐食に対する優れた耐性を提供します。これは、過酷な化学環境で完全性と性能を維持するために重要です。

TaC コーティング サセプタの均一で安定した熱特性により、使用されるプロセスの一貫性と品質が向上し、半導体製造の歩留まりと効率が向上します。

一方、TaC コーティングサセプターの TaC の使用により、半導体プロセスにおける汚染のリスクが最小限に抑えられます。これは、高純度で欠陥のない電子部品を製造するために重要です。

TaC コーティングサセプタの用途:

半導体製造: 半導体ウェーハ上に薄膜とエピタキシャル層を堆積するための CVD および PVD ​​プロセスで使用されます。

LED 製造: 正確で安定した熱条件が必要とされる発光ダイオード (LED) の製造に使用されます。

太陽電池の製造: 効率と信頼性を高めるために太陽電池の製造に使用されます。

Semicorex TaC コーティング サセプタは、高い熱安定性、耐薬品性、耐久性が必要とされる高度な製造プロセスにおいて重要です。これらのアプリケーションにより、ハイテク産業におけるパフォーマンス、寿命、製品品質の向上が保証されます。