TaCコートプレート

TaC コーティング プレートは、SiC エピタキシャル プロセスで使用するために設計された特殊なディスクで、高品質のグラファイト材料から精密に作られています。その表面は、その卓越した純度と強度で知られる化合物である炭化タンタル (TaC) で注意深くコーティングされています。 TaC コーティングはプレートの耐久性と高温耐性を強化し、SiC エピタキシャル プロセスの厳しい条件に最適です。

この革新的な TaC コーティング プレートは、SiC エピタキシャル プロセスで使用するために設計された特殊なディスクで、高品質のグラファイト材料から精密に作られています。 TaC コーティングプレートの表面は、その並外れた純度と強度で知られる化合物である炭化タンタル (TaC) で細心の注意を払ってコーティングされています。 SiC エピタキシャル成長のさまざまな段階でウェーハを搬送するための信頼できるプラットフォームとして機能します。高純度グラファイトベースは安定した不活性な表面を提供し、TaC コーティングは化学反応や摩耗に対する保護層を追加します。

Semicorex TaC コーティング プレートは、顧客の特定の要件に従ってカスタマイズされ、最適なパフォーマンスと SiC エピタキシャル システムとの互換性を保証します。サイズ、形状、その他の仕様にかかわらず、これらのプレートはあらゆる用途の固有のニーズを満たすように調整されています。