TaC コーティングされたグラファイト部品

Semicorex TaC コーティングされたグラファイト部品は、高純度等方性グラファイトで作られ、炭化タンタル (TaC) でコーティングされており、極端な温度に対する比類のない耐性を提供します。 TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体製造で遭遇する厳しい条件に耐えられるように設計されており、高品質の半導体製品の製造に不可欠なさまざまなプロセスを強化するのに優れています。優れた耐熱性により、最も厳しい熱環境でも信頼性と寿命が保証されます。

TaC コーティングされたグラファイト部品は、拡散プロセス、酸化アニーリング、LPCVD、PECVD などの主要な半導体処理技術の最適化において極めて重要な役割を果たします。 TaC コーティングされたグラファイト部品は、温度の正確な制御を容易にし、基板全体の均一性を確保することにより、製品の品質と製造効率の向上に大きく貢献します。

Semicorex TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体製造の厳しい要求を満たすように設計されています。拡散プロセスの強化からさまざまな成膜技術の品質と効率の向上に至るまで、TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体製造の卓越性を追求する上で不可欠な資産です。