Semicorex の SiC コーティング ICP コンポーネントは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセス向けに特別に設計されています。微細な SiC 結晶コーティングを施した当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。
続きを読むお問い合わせを送信最も要求の厳しい高温および腐食環境でも確実かつ一貫して機能するグラファイト サセプターが必要な場合、液相エピタキシー用 Semicorex バレル サセプターが最適です。炭化ケイ素コーティングは優れた熱伝導性と熱分布を提供し、半導体製造用途で優れたパフォーマンスを保証します。
続きを読むお問い合わせを送信半導体製造に関しては、優れた性能と信頼性を実現する Semicorex 高温 SiC コーティング バレル サセプターが最適です。高品質の SiC コーティングと優れた熱伝導性により、最も要求の厳しい高温および腐食環境での使用にも最適です。
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