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SiC コーティングされた ICP コンポーネント

Semicorex の SiC コーティング ICP コンポーネントは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセス向けに特別に設計されています。微細な SiC 結晶コーティングを施した当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。

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液相エピタキシー用バレルサセプター

最も要求の厳しい高温および腐食環境でも確実かつ一貫して機能するグラファイトサセプターが必要な場合、液相エピタキシー用 Semicorex バレルサセプターが最適です。炭化ケイ素コーティングは優れた熱伝導性と熱分布を提供し、半導体製造用途で優れたパフォーマンスを保証します。

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高温SiCコーティングバレルサセプター

半導体製造に関しては、優れた性能と信頼性を実現する Semicorex 高温 SiC コーティングバレルサセプターが最適です。高品質の SiC コーティングと優れた熱伝導性により、最も要求の厳しい高温および腐食環境での使用にも最適です。

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