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ICPプラズマエッチング装置

Semicorex の ICP プラズマエッチングシステム用 SiC コーティングキャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセスにとって信頼性が高くコスト効率の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを備えています。

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ICPエッチングプロセス用ウェーハホルダー

Semicorex の ICP エッチングプロセス用ウェーハホルダーは、要求の厳しいウェーハハンドリングや薄膜堆積プロセスに最適です。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および一貫した信頼性の高い結果をもたらす最適な層流ガスフローパターンを誇ります。

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Semicorex の PSS エッチングアプリケーション用シリコンエッチングプレートは、エピタキシャル成長およびウェーハハンドリングプロセス用に特別に設計された高品質の超高純度グラファイトキャリアです。当社のキャリアは、過酷な環境、高温、過酷な化学洗浄に耐えることができます。 PSS エッチング用途用のシリコンエッチングプレートは、優れた熱分布特性、高い熱伝導率を備え、コスト効率に優れています。当社の製品は多くのヨーロッパおよびアメリカ市場で広く使用されており、中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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PSSエッチング用途向けシリコンエッチングプレート