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SiCコートウエハーヒーター

Semicorex は、炭化ケイ素コーティングされたグラファイト、精密機械加工された高純度グラファイトの大手独立系メーカーで、半導体製造の炭化ケイ素コーティングされたグラファイト、炭化ケイ素セラミック、MOCVP 分野に重点を置いています。当社の SiC コーティングウェーハヒーターは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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MOCVD用炭化ケイ素コーティンググラファイトサセプタ

Semicorex は、MOCVD 用炭化ケイ素コーティンググラファイトサセプタの信頼できるサプライヤーおよびメーカーです。当社の製品は、ウェーハチップ上にエピタキシャル層を成長させる際の半導体業界のニーズを満たすように特別に設計されています。この製品はMOCVDのセンタープレートとして使用され、ギアまたはリング状のデザインが施されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えており、過酷な環境での使用に最適です。

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SiC コーティングされた ICP コンポーネント

Semicorex の SiC コーティング ICP コンポーネントは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセス向けに特別に設計されています。微細な SiC 結晶コーティングを施した当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。

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ICPエッチングキャリアプレート

Semicorex の ICP エッチングキャリアプレートは、要求の厳しいウェーハの取り扱いや薄膜堆積プロセスに最適なソリューションです。当社の製品は、優れた耐熱性と耐腐食性、均一な熱均一性、および層流のガス流パターンを提供します。清潔で滑らかな表面を備えた当社のキャリアは、新品のウェーハを扱うのに最適です。

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