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半導体エピタキシャルリアクタのバレル構造

半導体エピタキシャルリアクタのバレル構造

Semicorex の半導体エピタキシャル リアクター用バレル構造は、その卓越した熱伝導率と熱分布特性により、LPE プロセスやその他の半導体製造用途での使用に最適です。高純度 SiC コーティングは、高温および腐食環境において優れた保護を提供します。

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SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレル

SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレル

Semicorex SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレルは、高純度 SiC でコーティングされた最高品質のグラファイト製品です。その優れた密度と熱伝導率により、LPE プロセスでの使用に理想的な選択肢となり、腐食性および高温環境において優れた熱分散と保護を実現します。

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カーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプター

カーバイドコーティングされたリアクターバレルサセプター

Semicorex 超硬コーティングされたリアクター バレル サセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質のグラファイト製品で、LPE プロセス用に特別に設計されています。耐熱性、耐食性に優れており、半導体製造用途に最適です。

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炭化ケイ素コーティングされたバレルサセプタ

炭化ケイ素コーティングされたバレルサセプタ

Semicorex 炭化ケイ素コーティングバレルサセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質グラファイト製品で、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。半導体製造業界における LPE アプリケーション向けに特別に設計されています。

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