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セラミックウェーハキャリア

Semicorex は、半導体産業における炭化ケイ素層に焦点を当てた、OEM 半製造ツールおよびウェーハ処理コンポーネント向けの半導体グレードのセラミックを提供します。当社は長年にわたりセラミックウェーハキャリアのメーカーおよびサプライヤーです。当社の製品は価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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エピタキシャル成長用のSiCコーティングRTPキャリアプレート

Semicorex エピタキシャル成長用 SiC コーティング RTP キャリアプレートは、半導体ウェーハ処理アプリケーションに最適なソリューションです。グラファイトやセラミックスなどの表面にMOCVD法で加工した高品質なカーボングラファイトサセプタと石英るつぼを備えており、ウェーハハンドリングやエピタキシャル成長処理に最適です。 SiC コーティングされたキャリアは高い熱伝導率と優れた熱分布特性を保証し、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄に信頼できる選択肢となります。

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SiC コーティングされた ICP コンポーネント

Semicorex の SiC コーティング ICP コンポーネントは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハハンドリングプロセス向けに特別に設計されています。微細な SiC 結晶コーティングを施した当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。

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