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CVD TaC コーティングサセプタ
Semicorex CVD TaC コーティング サセプタは、緻密な TaC コーティングを施した高性能グラファイト サセプタで、要求の厳しい SiC エピタキシャル成長プロセスに優れた熱均一性と耐食性を提供するように設計されています。 Semicorex は、高度な CVD コーティング技術と厳格な品質管理を組み合わせて、世界的な SiC エピ メーカーから信頼される長期耐久性の低汚染サセプタを提供します。
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SiCコーティングされたグラファイトプレート
Semicorex SiC コーティング グラファイト プレートは、SiC および GaN エピタキシーの厳しい要求に合わせて特別に設計された高純度キャリアであり、静水圧グラファイト基板上の高密度 CVD 炭化ケイ素コーティングを利用して、高歩留りウェーハ処理に安定した化学的に不活性な熱バリアを提供します。 Semicorex は世界中の顧客に適格な製品とサービスを提供します。*
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SiCエピウェーハサセプタ
Semicorex SiC コーティングされたグラファイトから作られた SiC エピウェーハ サセプタは、高温エピタキシャル成長プロセスにおいて優れた熱均一性と化学的安定性を提供するように設計されています。 Semicorex は、最高品質の製品と最高のサービスを世界中のお客様にお届けすることに尽力しています。強力な技術的専門知識と信頼できる製造能力により、当社はグローバルパートナーが安定したパフォーマンスと長期的な価値を達成できるよう支援します。*
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半導体グレードの石英拡散管
Semicorex の半導体グレード石英拡散管は、半導体ウェーハ製造にクリーンで安定した反応空間を提供することを目的とした必須の石英コンポーネントです。 Semicorex は、広範で実証済みの製造能力により、互換性の高いカスタム設計の半導体グレードの石英拡散管を大切な顧客に提供できます。
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炭化タンタルコーティングガイドリング
Semicorex タンタルカーバイドコーティングガイドリングは、半導体結晶成長装置で使用される高性能リング部品です。これらは、結晶成長中に適切な温度勾配と安定した空気の流れ環境を作り出すように特別に設計されています。 Semicorex タンタルカーバイドコーティングガイドリングを選択することで、比類のないコーティング技術と高効率で安定した生産経験の恩恵を受けることができます。
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横型炭化ケイ素ボート
Semicorex の水平型炭化ケイ素ボートは、最先端の半導体製造プロセスに不可欠な水平型ウェーハ キャリアであり、高品質の半導体グレードの炭化ケイ素から精密に製造されています。 Semicorex は、広範で実績のある製造能力により、互換性の高いカスタム設計の水平炭化ケイ素ボートを著名な顧客に提供できます。
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