製品

Semicorex カーボンファイバー強化カーボンフィクスチャは、高温処理環境向けに設計された高強度、軽量の構造コンポーネントであり、優れた熱安定性、効率的な熱分布、信頼性の高い機械的サポートを保証する精密なグリッド構造を特徴としています。 Semicorex は、半導体および先端製造産業向けに高度な高温材料と精密コンポーネントを提供することに専念し、世界中の顧客に信頼性の高いパフォーマンスと一貫した品質を提供します。

Semicorex フレキシブル グラファイト フォイル ロールは、高温で成形されたフレーク グラファイトから作られています。様々な用途に最適な素材です。 Semicorex は、世界中の顧客に高品質のグラファイト製品を供給しています。*

Semicorex の円筒形グラファイト ヒーターは、単結晶シリコン成長のホット ゾーン用に特別に設計された抵抗加熱デバイスです。 Semicorex は、プレミアムな材料選択と実証済みの加工技術に支えられ、業界をリードするパフォーマンスと大幅に低い総所有コストを備えた比類のない加熱ソリューションを大切なお客様に提供しています。

Semicorex LPCVD 用炉管は、均一で緻密な CVD SiC コーティングを施した精密製造の管状コンポーネントです。先進的な低圧化学蒸着プロセス用に特別に設計された LPCVD 用 Semicorex 炉管は、適切な高温、低圧の反応環境を提供して、ウェハ薄膜蒸着の品質と歩留まりを向上させることができます。

Semicorex グラファイト断熱シールドは、熱効率を向上させ、炉の重要なホット ゾーン構造を保護するように設計された高温硬質グラファイト フェルト コンポーネントです。 Semicorex は、安定した品質、短納期、競争力のあるコストを備えた信頼性の高いホットゾーン コンポーネントを提供します。*

Semicorex ウェーハ真空チャックは、高度な半導体リソグラフィ プロセスにおける安定したウェーハ固定とナノメートル レベルの位置決めのために設計された超精密 SiC 真空チャックです。 Semicorex は、より短い納期、競争力のある価格、迅速な技術サポートを備えた、輸入真空チャックに代わる高性能の国内製品を提供します。*