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SiCコーティンググラファイトサセプタとは何ですか?

SiC コーティングされたグラファイトサセプターを導入するには、その用途を理解することが重要です。デバイスを製造する場合、一部のウェーハ基板上にさらにエピタキシャル層を構築する必要があります。

炭化ケイ素基板製造の課題は何ですか?

炭化ケイ素 (SiC) は、ダイヤモンドや立方晶窒化ホウ素などの他の硬質材料と同様に、高い結合エネルギーを持つ材料です。ただし、SiC は結合エネルギーが高いため、従来の溶融方法でインゴットに直接結晶化することが困難です。したがって、炭化ケイ素結晶を成長させるプロセスには、気相エピタキシー技術の使用が含まれます。

炭化ケイ素産業

炭化ケイ素産業には、基板の作成、エピタキシャル成長、デバイス設計、デバイス製造、パッケージング、テストを含む一連のプロセスが含まれます。一般に、炭化ケイ素はインゴットとして作成され、その後スライス、研削、研磨されて炭化ケイ素基板が製造されます。

炭化ケイ素 (SiC) とは何ですか?

半導体材料は時系列に応じて 3 つの世代に分類できます。ゲルマニウム、シリコン、その他の一般的なモノマテリアルの第 1 世代。便利なスイッチングが特徴で、一般に集積回路で使用されます。ガリウムヒ素、インジウムリンなどの化合物半導体の第2世代で、主に発光材料や通信材料に使用されます。

炭化ケイ素の研磨はできますか？

炭化ケイ素 (SiC) は、その優れた物理化学的特性により、パワーエレクトロニクス、高周波 RF デバイス、高温耐性環境用のセンサーなどの分野で重要な用途に使用されています。しかし、SiC ウェハ処理中のスライス操作により表面に損傷が生じ、これを未処理のままにしておくと、その後のエピタキシャル成長プロセス中に拡大してエピタキシャル欠陥が形成され、デバイスの歩留まりに影響を与える可能性があります。

GaN と SiC の比較

現在研究中の材料がいくつかありますが、その中でも炭化ケイ素は最も有望な材料の 1 つとして際立っています。 GaN と同様に、シリコンに比べて高い動作電圧、高い降伏電圧、優れた導電性を誇ります。さらに、炭化ケイ素は熱伝導率が高いため、極端な温度の環境でも使用できます。最後に、サイズが大幅に小さいにもかかわらず、より大きな電力を処理できます。

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