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ドライエッチングとウェットエッチング

半導体製造において、エッチングはフォトリソグラフィーや薄膜堆積と並ぶ主要なステップの 1 つです。これには、化学的または物理的方法を使用して、ウェーハの表面から不要な物質を除去することが含まれます。このステップは、コーティング、フォトリソグラフィー、および現像の後に実行されます。これは、露光された薄膜材料を除去し、ウェーハの必要な部分だけを残し、余分なフォトレジストを除去するために使用されます。これらのステップを何度も繰り返して、複雑な集積回路を作成します。

SiC結晶の転位

SiC 基板には、貫通ねじ転位 (TSD)、貫通刃状転位 (TED)、ベースプレーン転位 (BPD) などの微細な欠陥が存在する場合があります。これらの欠陥は、原子レベルでの原子の配置のずれによって引き起こされます。

SiC結晶の欠陥について - マイクロパイプ

SiC 基板には、貫通ねじ転位 (TSD)、貫通刃状転位 (TED)、ベースプレーン転位 (BPD) などの微細な欠陥が存在する場合があります。これらの欠陥は、原子レベルでの原子の配置のずれによって引き起こされます。 SiC 結晶には、Si または C の介在物、マイクロパイプ、六角形の空隙、多形などの巨視的な転位が存在する場合もあります。これらの転位は通常、サイズが大きいです。

なぜ液相エピタキシー法を選ぶのですか?

PVT 法と比較して、液相法による SiC 成長には次の利点があります。

液相エピタキシーとは何ですか?

液相法は熱力学的平衡条件に近く、より高品質のSiC結晶を成長させることができます。

TaCコーティング

研究結果によると、TaC コーティングは保護層および隔離層として機能し、グラファイト部品の寿命を延ばし、半径方向の温度均一性を改善し、SiC 昇華の化学量論を維持し、不純物の移行を抑制し、エネルギー消費を削減することができます。最終的には、TaC コーティングされたグラファイトるつぼセットにより、SiC PVT プロセス制御と製品品質が向上すると期待されています。

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