エピプレヒートリング

Semicorex Epi Pre Heat Ring は、炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされたグラファイトの堅牢な組成を誇り、優れた耐久性と高温耐性を保証します。この構造により、要求の厳しい半導体環境において信頼性が高く、長期にわたるパフォーマンスが保証されます。

プロセスガスがチャンバーに入る前に正確な温度まで予熱することで、エピタキシャルプロセスを向上させます。この最適化により、エピタキシャル成長の均一性と品質が向上し、優れた半導体デバイスの性能が得られます。

Epi Pre Heat Ring は、半導体製造の厳しい基準を満たすよう細心の注意を払って設計されています。その設計により、既存のプロセスへのシームレスな統合が容易になり、エピタキシャル システムの手間のかからないアップグレードが可能になります。

Semicorex エピ プレ ヒート リングはカスタマイズされており、幅広い半導体エピタキシャル プロセスと互換性があります。化合物半導体や先端材料のいずれを扱う場合でも、このリングは半導体業界の多様なニーズを満たすように設計されています。

Epi Pre Heat Ring を使用して半導体エピタキシャル プロセスをアップグレードします。最先端のテクノロジーが信頼性の高いパフォーマンスを実現します。エピタキシャル成長の品質を向上させ、半導体デバイス製造の新たな可能性を解き放ちます。 Epi Pre Heat Ring の精度に投資し、進歩に投資しましょう。