バレルサセプタは、LPE、MOCVD などのさまざまな半導体製造プロセスで使用される重要なコンポーネントです。 Semicorex は、化学蒸着 (CVD) プロセスを使用してグラファイト上に高純度の炭化ケイ素を薄層で塗布します。これにより、材料は優れた熱安定性、耐薬品性、耐摩耗性を備えた半導体グレードとなり、高耐圧での使用に最適です。温度プロセス。
●高純度SiCコーティンググラファイト
●耐熱性、耐薬品性に優れています。
●高い均熱性
●耐摩耗性に優れています。
Semicorex ウェーハエピタキシャル用 SiC コーティングバレルサセプタは、その非常に平坦な表面と高品質の SiC コーティングにより、単結晶成長アプリケーションに最適です。融点が高く、耐酸化性、耐食性があるため、高温や腐食性の環境での使用に最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティングされたエピタキシャル リアクター バレルは、高純度 SiC でコーティングされた最高品質のグラファイト製品です。その優れた密度と熱伝導率により、LPE プロセスでの使用に理想的な選択肢となり、腐食性および高温環境において優れた熱分散と保護を実現します。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex 超硬コーティングされたリアクター バレル サセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質のグラファイト製品で、LPE プロセス用に特別に設計されています。耐熱性、耐食性に優れており、半導体製造用途に最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex のエピタキシャル リアクター チャンバー用 SiC コーティング サセプター バレルは、優れた熱分布と熱伝導特性を備え、半導体製造プロセス向けの信頼性の高いソリューションです。また、腐食、酸化、高温に対する耐性も優れています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex 炭化ケイ素コーティングバレルサセプターは、高純度 SiC でコーティングされた高品質グラファイト製品で、優れた耐熱性と耐腐食性を備えています。半導体製造業界における LPE アプリケーション向けに特別に設計されています。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex SiC コーティング EPI 3 1/4 インチ バレル サセプタは、優れた熱安定性と化学的攻撃に対する耐性を提供し、グラファイト基板は優れた熱伝達特性を提供します。
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