Semicorex では、4 インチおよび 6 インチの高純度半絶縁性 SiC インゴットを提供しています。当社は長年にわたりウェーハの製造および供給を行ってきました。当社の 4" 6" 高純度半絶縁性 SiC インゴットは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカの市場のほとんどをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。
4インチ半絶縁性SiCインゴット仕様 |
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アイテム |
プロダクショングレード |
ダミーグレード |
ポリタイプ |
4時間 |
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抵抗率/Ω・cm |
それ |
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直径 |
100.25±0.25mm |
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厚さ |
≧15mm |
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面方位エラー |
0±0.2° |
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プライマリフラット方向 |
[1-100]±5.0° |
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一次平坦長さ |
32.5±1.5mm |
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二次フラット |
プライマリから 90.0°CW ±5.0°、シリコン面を上に |
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二次平坦長さ |
17±1.5mm |
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マイクロパイプ密度 |
≤1ea/cm2 |
≤10ea/cm2 |
エッジクラック |
≤3、≤1mm/個 |
≤5、≤3mm/個 |
ポリタイプ領域 |
なし |
面積の 5% 以下 |
エッジのへこみ |
≤ 3 ea、≤ 1 mm 幅と深さ |
≤5 ea、≤2mm幅と深さ |
ラベル |
C面 |
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包装 |
ユニットインゴットカセット、真空包装 |
6インチ半絶縁性SiCインゴット仕様 |
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アイテム |
プロダクショングレード |
ダミーグレード |
ポリタイプ |
4時間 |
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抵抗率/Ω・cm |
それ |
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直径 |
150.25±0.25mm |
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厚さ |
≧10mm |
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面方位エラー |
0±0.25° |
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ノッチの向き |
[1-100]±5.0° |
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ノッチ深さ |
1~1.25mm |
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マイクロパイプ密度 |
≤1ea/cm2 |
≤10ea/cm2 |
エッジクラック |
≤3、≤1mm/個 |
≤5、≤3mm/個 |
ポリタイプ領域 |
なし |
面積の 5% 以下 |
エッジのへこみ |
≤ 3 ea、≤ 1 mm 幅と深さ |
≤5 ea、≤2mm幅と深さ |
ラベル |
C面 |
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包装 |
ユニットインゴットカセット、真空包装 |