4" 6" 8" N型SiCインゴット

セミコレックスでは、4インチ、6インチ、8インチのN型SiCインゴットを提供しています。当社は長年にわたりウェーハの製造および供給を行ってきました。当社の 4" 6" 8" N 型 SiC インゴットは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場のほとんどをカバーしています。当社は中国での長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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製品説明

Semicorex は 4" 6" 8" N 型 SiC インゴットを提供しています。当社は長年にわたりウェーハの製造および供給を行ってきました。

4インチN型SiCインゴット仕様
アイテム			プロダクショングレード			ダミーグレード
ポリタイプ			4時間
ドーパント			n型窒素
抵抗率			0.015～0.025Ω・cm			0.015～0.028Ω・cm
直径			100.25±0.25mm
厚さ			≧15mm
面方位エラー			4°方向<11-20>±0.2°
プライマリフラット方向			[1-100]±5.0°
一次平坦長さ			32.5±1.5mm
二次フラット			プライマリから 90.0°CW ±5.0°、シリコン面を上に
二次平坦長さ			18±1.5mm
マイクロパイプ密度			≤0.5 ea/cm2			≤10ea/cm2
境界性パーソナリティ障害			≤2000 ea/cm2			--
TSD			≤500 ea/cm2			--
エッジクラック			≤3、≤1mm/個			≤5、≤3mm/個
ポリタイプ領域			なし			面積の 5% 以下
エッジのへこみ			≤ 3 ea、≤ 1 mm 幅と深さ			≤5 ea、≤2mm幅と深さ
ラベル			C面
包装			ユニットインゴットカセット、真空包装
6インチN型SiCインゴット仕様
アイテム		プロダクショングレード			ダミーグレード
ポリタイプ		4時間
ドーパント		n型窒素
抵抗率		0.015～0.025			0.015～0.028
直径		150.25±0.25mm
厚さ		≧15mm
面方位エラー		4°方向<11-20>±0.2°
プライマリフラット方向		[1-100]±5.0°
一次平坦長さ		47.5±1.5mm
マイクロパイプ密度		≤0.5 ea/cm2			≤10ea/cm2
境界性パーソナリティ障害		≤2000 ea/cm2			--
TSD		≤500 ea/cm2			--
エッジクラック		≤3、≤1mm/個			≤5、≤3mm/個
ポリタイプ領域		なし			面積の 5% 以下
エッジのへこみ		≤ 3 ea、≤ 1 mm 幅と深さ			≤5 ea、≤2mm幅と深さ
ラベル		C面
包装		ユニットインゴットカセット、真空包装
8インチN型SiCインゴット仕様
アイテム	プロダクショングレード			研究グレード			ダミーグレード
ポリタイプ	4時間
ドーパント	n型窒素
抵抗率	0.015～0.028			0.01～0.04			それ
直径	200.25±0.25mm
厚さ	それ
面方位エラー	4°方向<11-20>±0.5°
ノッチの向き	[1-100]±5.0°
ノッチ深さ	1～1.5mm
マイクロパイプ密度	≤2ea/cm2			≤10ea/cm2			≤50 ea/cm2
境界性パーソナリティ障害	≤2000 ea/cm2			≤500 ea/cm2			--
TSD	≤500 ea/cm2			≤1000 ea/cm2			--
エッジクラック	≤3、≤1mm/個			≤4、≤2mm/ea			≤5、≤3mm/個
ポリタイプ領域	なし			面積の 20% 以下			面積の 30% 以下
エッジのへこみ	≤ 3 ea、≤ 1 mm 幅と深さ			≤4個、≤2mm幅と深さ			≤5 ea、≤2mm幅と深さ
ラベル	C面
包装	ユニットインゴットカセット、真空包装