垂直石英ウェーハボート

半導体製造プロセスでは、反応チャンバー内の半導体コンポーネントは厳格な高清浄度基準を満たさなければなりません。そうしないと、マイクロスケールまたはナノスケールの不純物や汚染物質であっても、半導体デバイスの性能や歩留まりに不可逆的なダメージを与える可能性があります。

石英ウェーハボート通常、拡散炉、酸化炉、アニール炉などの高温反応チャンバーに垂直に設置され、ウェーハと直接接触する必要があります。 Semicorex の縦型石英ウェーハ ボートは、これらの高清浄度要件を満たす高純度石英材料で製造されています。この賢明な材料選択により、製造プロセス中にウェーハボートから放出される反応物によって引き起こされるウェーハ汚染を効果的に回避できます。

半導体製造では、ウェーハボートは加熱と冷却のサイクルを繰り返すだけでなく、長期間にわたるプロセスガスの腐食に耐えることも求められます。セミコレックスの縦型クォーツウエハースボートは、その固有の熱安定性により、一定の熱サイクルという困難な動作条件においても優れた寸法安定性を示します。この優れた熱特性により、垂直型石英ウェーハボートの精度劣化や構造的変形によって引き起こされるウェーハの変形や損傷が大幅に防止されます。さらに、垂直型石英ウェーハボートは、化学的不活性度が高いため、酸素、水蒸気、塩化水素、アンモニアなどの腐食性ガスとの反応に対して耐性があります。この特性により、化学腐食によって垂直石英ウェーハ ボートの構造的完全性が損なわれる可能性が大幅に減少します。

セミコレックスの縦型石英ウェーハボートは、上記の性能上の利点に加えて、寸法精度と構造設計においても優れた競争力を発揮します。各部品は精密な機械加工技術によって製造されています。このピンポイントの寸法制御により、ウェーハの正確な位置決めが保証され、ロード、処理、アンロード中の位置ずれや衝突によって生じる傷や亀裂が最小限に抑えられます。