クォーツ 12 インチ ボート

Semicorex Quartz 12 インチ ボートは、精密に設計され、高純度のクォーツで構築されており、ウエハー処理という繊細で重要なタスクに最適なソリューションを提供します。

半導体製造の中心において、使用される装置の品質と信頼性は、最終製品の性能と歩留まりに大きな影響を与える可能性があります。 Quartz 12 インチ ボートはこの点で優れており、比類のない熱安定性、耐薬品性、機械的強度を備えています。その優れた特性により、高温アニーリング、化学蒸着 (CVD)、酸化などのさまざまな処理段階を通じてウェーハが確実に保持され、保護されます。

Quartz 12 インチ ボートの際立った特徴の 1 つは、その優れた熱安定性です。クォーツは、極端な温度に耐えて変形や劣化を起こさないことで知られています。これは、ウェハの汚染や破損を防ぐために構造の完全性を維持することが不可欠な高温プロセス中に特に重要です。石英 12 インチ ボートの設計は石英の熱特性を最大限に活用し、均一な熱分布を確保し、ウェーハへの熱応力を最小限に抑えます。これにより、より一貫したプロセスとより高品質な結果が得られます。

熱安定性に加えて、クォーツ 12 インチ ボートは優れた耐薬品性を示します。半導体製造中、ウェーハは酸、アルカリ、反応性ガスなどのさまざまな化学薬品にさらされます。高純度の石英材料は本質的にこれらの腐食性物質に対して耐性があり、ウェーハを損傷する可能性のある有害な反応を防ぎます。この化学的不活性により、ボートに不純物が導入されず、製造される半導体デバイスの完全性と純度が維持されます。