石英ウエハーボート

石英ウェーハボート保持および固定するために使用される高純度石英製の精密キャリアです。ウエハース。これらは半導体および太陽光発電の製造に不可欠なキーコンポーネントであり、高精度および高効率の生産を確実に保証します。

石英ウェーハボートは、特定の形状および寸法に精密加工されているため、幅広い半導体プロセス装置との優れた互換性を実現します。精密に設計された内部スロットと最適化された構造設計は、ノッチの精度、平行度、直角度に関するウェーハ製造プロセスの厳しい要件を満たし、ウェーハへの物理的損傷のリスクを効果的に軽減します。

Semicorex が選択した石英材料は、純度 99.995% 以上で不純物含有量が極めて低いため、半導体製造ワークフローの重要なプロセスの厳格な純度要件を満たし、ウェーハの汚染を効果的に防止できます。

この高純度石英は、優れた高温耐性、低い熱膨張係数、強い化学的安定性などの優れた特性を示し、半導体製造の複雑なプロセス要求に適応できます。 1200℃前後の高温環境でも長期安定動作が可能で、半導体の拡散、酸化、アニール、太陽電池の高温拡散などのプロセスの要件を満たし、高温処理時の変形や溶融によるウエハやシリコンウエハの損傷を防ぎます。

化学的安定性が高いため、半導体プロセスで使用されるガスや太陽光発電の生産で使用される化学試薬と反応する可能性が低く、不純物を放出しないため、生産環境での高い清浄度レベルが確保され、製品の純度が保証され、プロセスの安定性が確保されます。