レシーバーディスク

Semicorex サセプター ディスクは、高純度グラファイトから作られ、MOCVD 技術を使用して炭化ケイ素 (SiC) の層でコーティングされており、優れた熱特性と顕著な化学的安定性を兼ね備えています。炭化ケイ素コーティングは、高温および腐食条件に対する優れた耐性を保証し、困難な環境でサセプター ディスクの完全性を維持するために重要です。

さらに、サセプタディスク上の SiC コーティングにより熱伝導率が向上し、一貫したエピタキシャル成長に重要な迅速かつ均一な熱分布が可能になります。熱を効率的に吸収・放射し、薄膜の成膜に不可欠な安定した均一な温度を提供します。この均一性は、高度な半導体デバイスの機能と性能の基礎となる高品質のエピタキシャル層を実現するために不可欠です。

サセプター ディスクの設計は、熱膨張の課題にも対処しています。熱膨張係数が最小限であるため、エピタキシャル層との強力な結合が保証され、熱サイクルによる亀裂のリスクが軽減されます。この機能は、サセプター ディスクの高い融点と優れた耐酸化性と相まって、極端な条件下でも信頼性の高い動作を可能にします。

これらの高度な特性により、サセプター ディスクは最新の MOCVD アプリケーションの厳しい要件を満たすだけでなく、それを上回り、エピタキシャル成長プロセスの全体的な効率と生産量を向上させる信頼性の高い高性能ソリューションを提供します。