シリコンカセットボート

比類のない高純度の多結晶シリコンまたは単結晶シリコンで作られたシリコンカセットボートには、次のような利点があります。

1.超低不純物汚染: 

これらの材料は搬送されるウェーハと同じ化学組成を共有しており、高温プロセス中の不要な不純物イオンを最小限に抑えます。

2.優れた熱安定性: 

長時間の高温 (約 1250°C) にさらされても変形せず、正確な間隔を維持できるため、ウェーハに安定した支持プラットフォームを提供します。

3.優れた機械的特性: 

石英ボートに比べて衝撃に強く、積み下ろしの際に破損しにくいです。

4.長寿命: 

表面コーティングを施していないため、過酷な高温環境に長時間さらされても表面素材が剥がれることはありません。

セミコレックスシリコンカセットボートは、4 インチおよび 6 インチの横型高温炉と互換性のある小型のウェーハサポートおよび搬送キャリアです。一体成形された構造設計により、接合ギャップや接合部の構造的脆弱性が回避され、機械的衝撃、化学的腐食、熱応力によって引き起こされる亀裂のリスクが大幅に軽減されます。シリコンカセットボートは、主にセミコレックスの最先端の処理技術により、酸化、拡散、アニーリング、高温洗浄などの高温処理手順によく適合します。

Semicorex シリコン カセット ボートは、グルーブ バーの形状、グルーブの歯の長さ、プロファイル、傾斜角、総ウェーハ積載容量などの側面を含む、当社の大切なお客様向けのハイエンドのカスタマイズされた調整をサポートします。このカスタマイズされた設計により、ウェーハがシリコン カセット ボート内で一定の間隔で正確に配置されることが保証され、処理中の位置ずれや不均一な加熱が効果的に軽減され、それによってチップの電気的性能への損傷やチップの完全な故障が防止されます。顧客に高品質の製品を確実に提供するために、セミコレックスのシリコンカセットボートは、寸法精度、材料特性、表面平坦度、全体の清浄度、残留応力などの厳しい品質検査に合格する必要があります。