Semicorex SiC 拡散炉管の高度な材料特性(高い曲げ強度、優れた耐酸化性および耐食性、高い耐摩耗性、低い摩擦係数、優れた高温機械的特性、超高純度など)は、半導体産業において不可欠なものとなっています。特に拡散炉用途に適しています。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能 SiC 拡散炉管の製造と供給に注力しています。**
高品質の材料特性を備えた Semicorex SiC 拡散ボートは、硬度、弾性、耐熱性、耐薬品性など、幅広い動作パラメータにわたって最適な機能を実現します。この材料の選択は、汚染のリスクを軽減し、ウェーハを保護し、耐久性を高める上で非常に重要です。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能 SiC 拡散ボートの製造と供給に専念しています。**
Semicorex SiC セラミック伝熱プレートは、主材料として SiC をベースにしており、2250°C での高温焼結を経て、SiC 含有量が 99.3% 以上の高度にガラス化された気孔のない緻密なセラミック体が得られます。 410MPa以上の曲げ強度と140W/m.kの熱伝導率を示すこれらのセラミックは、半導体産業においてフッ化水素酸(HF)や硫酸(H2SO4)などの強酸による腐食に耐えることができる唯一の材料です。私たちセミコレックスは、品質とコスト効率を融合した高性能 SiC セラミック伝熱プレートの製造と供給に専念しています。 **