SiCディスクレシーバー

Semicorex の超高純度 SiC ディスク サセプタは、品質とイノベーションに深く取り組んでおり、エピタキシー、MOCVD、および RTP 装置の性能の新しい基準を設定しています。これらのエンジニアリングコンポーネントは、優れた耐熱衝撃性、優れた熱伝導性、卓越した耐薬品性、超高純度を組み合わせることで、半導体メーカーが比類のない効率、信頼性、製品品質を達成できるようにします。 Semicorex のカスタマイズ可能なソリューションは、各熱処理アプリケーションが、その固有の要求を満たすように設計された最適化された精密設計コンポーネントの恩恵をさらに確実に受けられるようにします。

優れた耐熱衝撃性:SiC ディスク サセプタは、RTP やその他の高温プロセスで一般的な急激な温度変動への耐性に優れています。この優れた耐熱衝撃性により、構造の完全性と寿命が保証され、急激な温度変化による損傷や故障のリスクが最小限に抑えられ、熱処理装置の信頼性が向上します。

優れた熱伝導率:熱処理用途では効率的な熱伝達が重要です。 SiC ディスク サセプタの優れた熱伝導率により、正確な温度制御とプロセスの均一性に不可欠な、迅速かつ均一な加熱と冷却が保証されます。これにより、プロセス効率の向上、サイクルタイムの短縮、およびより高品質の半導体ウェーハが実現します。

優れた耐薬品性:SiC ディスク サセプタは、エピタキシー、MOCVD、RTP プロセスで使用されるさまざまな腐食性化学薬品や反応性化学薬品に対して優れた耐性を備えています。この化学的不活性により、下にあるグラファイトが劣化から保護され、プロセス環境の汚染が防止され、長期間の稼働期間にわたって一貫したパフォーマンスが保証されます。

超高純度: SiC ディスク サセプタは、グラファイトと SiC コーティングの両方について超高純度基準に従って製造されており、汚染の可能性を回避し、欠陥のない半導体デバイスの生産を保証します。この純度へのこだわりは、収率の向上とデバイスの性能の向上を意味します。

複雑な形状の入手可能性:Semicorex の高度な製造能力により、特定の顧客の要件に合わせた複雑な形状の SiC ディスク サセプターの製造が可能になります。この柔軟性により、さまざまな熱処理アプリケーションの正確なニーズを満たすカスタム ソリューションの設計が可能になり、プロセス効率と機器の互換性が向上します。

酸化性雰囲気で使用可能:堅牢な CVD SiC コーティングは酸化に対する優れた保護を提供し、SiC ディスク サセプターが酸化環境でも確実に機能することを可能にします。これにより、より広範囲の熱プロセスへの適用範囲が拡張され、多用途性と適応性が確保されます。

堅牢で再現性のあるパフォーマンス:高温および真空環境向けに設計された SiC ディスク サセプタは、堅牢で再現性のあるパフォーマンスを提供します。その耐久性と一貫性により、重要な熱処理用途に最適であり、ダウンタイムやメンテナンスコストを削減し、長期的な運用信頼性を確保します。

Semicorex は、CVD SiC コーティングされたコンポーネントをカスタマイズして、熱処理装置の次のようなさまざまなニーズを満たすことを専門としています。

ディフューザー:ガス分布の均一性とプロセスの一貫性を高めます。

絶縁体:高温環境での断熱と保護を提供します。

その他のカスタム熱コンポーネント:特定のプロセス要件を満たし、装置のパフォーマンスを最適化するように設計された、カスタマイズされたソリューション。