石英液体貯蔵タンク

Semicorex Quartz液体貯蔵タンクは、液体の取り扱いには並外れたレベルの清潔さと材料の安定性が必要な半導体ウェットクリーンアプリケーション用の専用容器です。主に、このタンクは、ウェーハクリーニングアプリケーションから廃棄物または残留液を収集するために使用されます。プロセスの生産性と汚染制御には非常に貴重です。濡れた清潔なプロセス中、半導体ウェーハのすすぎには、すすぎの終わりに廃棄物液になる大量の超純水または化学試薬が含まれます。さらに、潜在的な微量不純物、または排水を下ってはならない貴重な化学成分があるため、すすぎ後の残留液を収集する必要があります。廃棄物液体は、余分な残基または廃棄物化学物質を収集する必要があるフォトレジストアプリケーションなど、コーティングステップを実行するときにも収集する必要があります。したがって、クォーツ液体貯蔵タンクには、高い純度、化学的適合性、および低汚染特性を提供するための完璧な成果物があります。

このタンクは、強酸、アルカリ、および半導体洗浄とリソグラフィに定期的に使用される溶媒に非常に耐性のある高純度の融合石英で作られています。従来の容器のいずれであっても、クォーツは液体材料に、二次的汚染物質暴露、浸出、または不要なイオン曝露のない最高のチャンスを液体材料に与えます。石英液体貯蔵タンクの主要な側面の1つは、クォーツ容器に収集された残留液体は不純物検出、汚染解析、化学リサイクルなどの下流プロセスで使用できるため、半導体ファブの分析ワークフローをサポートする機能です。クォーツの特性に固有のものであるため、残留液を安全に含めることができ、その熱安定性に加えて、その不活性と透明性を考慮して相互作用のリスクなしに視覚的評価を可能にすることができます。とはいえ、クォーツ液体貯蔵タンクは、廃棄物の収集と短期貯蔵の両方に向けて設計されています。

プロセスの汚染制御のすべての詳細は、特に高度なデバイスの製造ノードが縮小し、清潔さのパラメーターがより厳しくなるため、重要です。クォーツ液体貯蔵タンクは、ファブオペレーターが廃棄物管理が二次汚染の源にならないと確信しています。残留洗浄ソリューションまたは過剰なプロセス液を封じ込めることにより、上流および下流のワークフローが有効に影響を受けるのを防ぎます。さらに、タンクはFABの持続可能性の目標をサポートしています。収集された液体は、試薬の浄化と再利用のために処理できるため、別の化学的に少ない集中プロセスを使用して、全体的に環境負荷が少なくなります。

実用的な観点から、Quartz液体貯蔵タンクの設計により、ウェットクリーニングハードウェアと化学管理システムに簡単に組み込むことができます。フォームファクターは、既存のツール構成に合わせて調整できます。精密製造方法は、丸い寸法を保証し、滑らかな内部表面が半導体ファブ環境にすべての液体を簡単に輸送および保存することを保証します。非多孔性石英構造は、汚染物質の吸収を防ぎ、タンクの洗浄を可能にし、重要な体積操作で化学制御環境で動作する従来のプラスチック容器とは異なり、再利用できるようにします。

結論として、クォーツ液体貯蔵タンクは、半導体ウェットクリーニングおよびコーティングアプリケーションのすべてにおいて重要なために特別に設計されています。半導体運用施設に可能な限り最高の材料純度、耐薬品耐性、汚染を含まない液体貯蔵を作成することにより、FABSは、汚染のほとんど、またはまったくなくプロセスを効果的に制御することができます。 FABがタンクを使用して直接廃棄物収集、試薬などの回収、または不純物分析のために、プロセスの重要なステップの歴史は、操作を損なうことなく元の状態に残ります。収量を最大化し、仕事プロセスへのリスクを安定性の喪失に最小限に抑え、副産物の化学的管理の効率を最大化しようとする場合、汚染フリークォーツは、すべてのウェットクリーニングで信頼できるパフォーマンスを提供する唯一の選択肢です。