洗浄槽

Semicorex 洗浄タンクは高品質の石英で作られており、比類のないパフォーマンスと信頼性を提供し、半導体ウェーハが完全に洗浄され、完全性を損なう可能性のある汚染物質が除去されることを保証します。

優れた耐薬品性と熱安定性により、洗浄タンクの構造には石英が選択されています。石英洗浄タンクは、フッ酸やその他の強力なエッチング剤など、洗浄プロセスで一般的に使用される過酷な化学薬品に耐性があります。その熱安定性により、半導体プロセスでしばしば必要とされる高温に変形したり劣化したりすることなく耐えることができ、構造の完全性と性能を長期間維持します。

洗浄タンクの設計は、洗浄プロセスを最適化するために細心の注意を払って設計されています。滑らかで継ぎ目のない内部は粒子の発生を最小限に抑え、汚染物質の蓄積を防ぎます。洗浄槽は薬液洗浄、超音波洗浄、メガソニック洗浄など、さまざまな洗浄方法に対応できるよう設計されています。各方法には特有の利点があり、洗浄タンクの多用途性により、最初のウェハ洗浄から最終のリンスと乾燥まで、洗浄プロセスの複数の段階で使用できます。

薬液槽では、洗浄タンクによりウェーハが洗浄液に均一にさらされるようになり、一貫した徹底的な洗浄が促進されます。ウエハ表面から粒子状物質、有機残留物、金属汚染物質を除去するには、均一な露光が重要です。超音波洗浄およびメガソニック洗浄では、高周波音波が洗浄液中に微細なキャビテーション泡を生成します。これらの気泡が崩壊すると、強力な衝撃波が発生し、ウェーハ表面から汚染物質を取り除き、除去します。洗浄タンクの堅牢な石英構造は、これらの洗浄方法によって生成される激しい条件に耐えることができ、長期的な耐久性と有効性を保証します。