湿式処理用石英槽

半導体グレードの石英から作られた湿式処理用石英タンクは、硫酸 (H2SO4)、過酸化水素 (H2O2)、標準の清浄溶液 (SC1) などのさまざまな化学薬品に対して優れた耐久性と非反応性を備えています。

ウエハ製造における湿式処理用石英タンクの主な用途の 1 つは、ウエハの洗浄です。さまざまな製造ステップ中に、特定の部分をエッチングしたり、指定された領域に拡散を制限したりするために、ウェーハがマスクされることがあります。特定のプロセスステップが完了したら、次のステップに向けてウェーハを準備するためにマスキング材料を完全に除去する必要があります。湿式処理用石英タンクはこの洗浄プロセスで重要な役割を果たし、後続の処理ステップを汚染する可能性のある残留物や粒子を残さずにウェーハを効果的に洗浄します。

Quartz the Tank for Wet Processing の攻撃的な化学薬品に対する耐性は、湿式処理用途では最も重要です。これらのタンクは、エッチングや洗浄プロセスで使用される強力な化学薬品に反応せずに耐えられるように設計されています。この非反応性により、化学薬品の有効性が維持され、ウェーハの完全性を損なう可能性のある望ましくない化学反応が発生しないことが保証されます。

ウェーハの洗浄プロセスでは、粒子によるウェーハの汚染を最小限に抑えることが不可欠です。 Semicorex 湿式処理用石英タンクは、汚染のリスクを軽減するように設計されており、ウェーハが完全かつ効率的に洗浄されることを保証します。当社の石英タンクは加熱再循環モデルで供給でき、正確な温度制御と洗浄液の連続循環が可能です。

Semicorex 湿式処理用石英タンクのもう 1 つの重要な特徴は、高い耐熱性です。これらのタンクは最高 190°C の温度で動作でき、洗浄液またはエッチング液の加熱を伴うプロセスに適しています。高い耐熱性により、高温下でもタンクの構造的完全性と性能が維持されます。これは、望ましい結果を達成するために温度制御が重要なプロセスにおいて特に重要です。

湿式処理用石英タンクは、熱膨張が低く、熱衝撃に対する耐性も優れています。熱膨張が低いため、温度変化による亀裂や変形のリスクが最小限に抑えられ、タンクの寿命と信頼性が確保されます。熱衝撃に対する高い耐性により、石英タンクは構造の完全性を損なうことなく、急激な温度変化に耐えることができます。これらの熱特性は、ウェーハ製造における湿式処理ステップの精度と信頼性を維持するために不可欠です。

セミコレックス湿式処理用石英槽のもう一つの利点は、高い透明性です。石英材料の透明性により、処理中のウェーハおよび洗浄液またはエッチング液の目視検査が可能になります。この可視性によりプロセスの制御と監視が強化され、問題があればすぐに検出して対処できるようになります。プロセスを視覚的に監視できる機能は、ウェーハの洗浄およびエッチングのステップの品質と一貫性を確保するために特に重要です。

セミコレックスでは、高度な加工技術を駆使し、高品質な湿式処理用石英タンクを製造しています。当社の製造能力には、ダイヤモンドブレードやレーザー切断によるサイズ調整が含まれており、正確な寸法と高品質の仕上げを保証します。また、粒子の発生や汚染のリスクを最小限に抑えるために、高度に研磨された表面を使用しています。当社の経験豊富な石英溶接工と機械工は、お客様の特定のニーズを満たすためにカスタマイズされた、高強度溶接注入口とプローブ ホルダーを備えた高純度石英タンクを作成します。

湿式処理用石英槽の性能と耐久性を向上させるために、熱応力を緩和するためのアニールが行われます。アニーリングは、石英材料内の内部応力を軽減し、熱衝撃に対する耐性を向上させ、全体的な耐久性を向上させる熱処理プロセスです。

半導体製造プロセスの多様な要件を満たすには、カスタムのサイズと構成が不可欠です。 Semicorex では、石英タンクの幅広いカスタム サイズと構成を提供しており、お客様の特定のニーズに合わせたソリューションを提供できます。高強度溶接石英インレット、プローブ ホルダー、その他のカスタム機能を追加する場合でも、当社はお客様と緊密に連携して、正確な仕様を満たす石英タンクを提供します。