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半導体ウェーハチャック

Semicorex の高度な高純度炭化ケイ素でコーティングされたコンポーネントは、ウェーハ取り扱いプロセスにおける極端な環境に耐えるように構築されています。当社の半導体ウェーハチャックは価格面で優れており、ヨーロッパおよびアメリカ市場の多くをカバーしています。私たちは、お客様の中国における長期的なパートナーとなることを楽しみにしています。

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Semicorex RTP SiC コーティングキャリアは、優れた耐熱性と熱均一性を備え、半導体ウェーハ処理用途に最適なソリューションです。高品質の SiC コーティングされたグラファイトを備えたこの製品は、エピタキシャル成長のための最も過酷な堆積環境に耐えるように設計されています。高い熱伝導率と優れた熱分布特性により、RTA、RTP、または過酷な化学洗浄において信頼性の高いパフォーマンスが保証されます。

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