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CVD SiC コーティングされたウェーハボート

セミコレックスCVD SiCコートウエハボートは、高信頼性、優れた清浄度、長寿命を特長とする超高純度炭化ケイ素製の高精度セラミック搬送ツールです。 Semicorex CVD SiC コーティングされたウェーハボートは、ウェーハ熱処理の理想的なソリューションとして機能し、搬送および処理段階でウェーハの安全かつ安定した位置決めを実現できます。

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Semicorex CVD SiC Fin は、化学気相成長法によって製造された厚く高密度の炭化ケイ素固体コンポーネントであり、卓越した純度、耐久性、耐食性を必要とするプラズマ対向および超高温半導体用途向けに設計されています。 Semicorex は、高度な CVD 炭化ケイ素コンポーネントを世界中の半導体装置メーカーに供給し、最も要求の厳しいプロセス環境向けにカスタマイズされたソリューション、精密エンジニアリング、信頼できるグローバル配信を提供します。

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SiCガス分配プレート

Semicorex SiC ガス分配プレートは、高温半導体エピタキシーシステムにおいて均一なガス分配、優れた耐食性、汚染制御を提供するように設計された、精密設計の CVD SiC コーティングされたグラファイトシャワーヘッドです。 Semicorex は、高度な SiC コーティングされたグラファイトコンポーネントを世界中の半導体メーカーに供給し、8 インチ、12 インチ、および次世代のウェーハ処理プラットフォーム向けにカスタマイズされた設計、超高純度の材料、信頼性の高いグローバル配信を提供しています。

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CVD SiC コーティングされたウェーハボート

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SiC熱交換器チューブ

SiC熱交換チューブ

SiCセラミックボールベアリング