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アルミナセラミックマニピュレーター

Semicorex アルミナセラミックマニピュレータは、高純度アルミナ製の高性能半導体装置コンポーネントで、汚染のないウェーハを正確に取り扱うために特別に設計されています。このマニピュレータは、優れた清浄度、優れた安定性、高精度、強化された効率、信頼性の高いパフォーマンスの特性を備えており、理想的な選択肢となります。

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PV用SiCボート

Semicorex PV 用 SiC ボートは、太陽電池の製造プロセス全体でシリコンウェーハを保持および輸送するために特に使用される高温耐性のコンテナです。セミコレックス、あなたの理想的な選択です。

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SiCセラミックパドル

Semicorex SiC セラミックパドルは、主に酸化および拡散プロセスで使用される半導体高温炉用に設計された高純度カンチレバーコンポーネントです。 Semicorex を選択するということは、重要なウェーハ処理用途で優れた安定性、清浄度、耐久性を保証する高度なセラミックソリューションにアクセスできることを意味します。

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TaC コーティングるつぼ

Semicorex TaC コーティングるつぼは、極端な温度用途向けに設計された高性能コンテナで、金属溶解プロセスと高度な半導体プロセスの両方に適しています。 Semicorex を選択するということは、最も要求の厳しい環境において卓越した純度、耐久性、安定性を実現する最先端のコーティング技術とエンジニアリングの専門知識を利用できることを意味します。*

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TaC コーティングされた遊星プレート

Semicorex TaC コーティングされた遊星プレートは、MOCVD エピタキシャル成長用に設計された高精度コンポーネントで、複数のウェーハポケットと最適化されたガス流量制御による遊星運動を特徴としています。 Semicorex を選択するということは、半導体業界に優れた耐久性、純度、プロセスの安定性を提供する高度なコーティング技術とエンジニアリングの専門知識を利用できることを意味します*。

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CVD SiCシャワーヘッド

Semicorex CVD SiC シャワーヘッドは、高度な半導体製造における CCP および ICP エッチングシステム用に設計された高純度の精密設計コンポーネントです。 Semicorex を選択するということは、最も要求の厳しいプラズマプロセスに対して、優れた材料純度、加工精度、耐久性を備えた信頼性の高いソリューションを獲得することを意味します。

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