C/Cコンポジットヒーター

C/Cコンポジットヒーターは通常、結晶成長炉の中心にあるるつぼの周囲に配置され、抵抗加熱によりるつぼ内の半導体材料に均一な熱を供給します。 C/C コンポジット ヒーターに通電すると、抵抗効果により炭素繊維とマトリックスが発熱します。この熱は熱伝導と輻射によってるつぼ内の半導体材料に伝わり、結晶の融解に必要な温度まで上昇します。より一貫した効果的な温度分布を確保するために、複数の C/C 複合ヒーターを組み合わせて、大型結晶成長炉用の層状加熱構造を作成できます。

C/Cコンポジットヒーターは、半導体材料の均一な溶融のためのプロセス条件と結晶成長に必要な温度勾配を正確に制御できるため、結晶品質に対する温度変動の影響を大幅に軽減できます。したがって、高温結晶炉内のホットゾーンは均一で安定した温度分布を示します。この改善された温度分布は、高品質で欠陥の少ない単結晶シリコン製品の育成に役立ち、結晶の電気的および機械的特性が大幅に最適化されます。 C/Cコンポジットヒーターの作用により、半導体材料の溶融サイクルを効果的に短縮することができ、それにより結晶成長速度が加速され、全体的な生産効率の向上に役立ちます。

半導体結晶成長用の熱場システムは、C/C 複合ヒーターと、るつぼ、フローガイドチューブ、断熱スリーブ、るつぼシャフトなどのコアコンポーネントで構成されます。 Semicorex の C/C コンポジット ヒーターを選択すると、熱場システムの強化と最適化が容易になり、半導体、太陽光発電、光学産業などの分野における高性能結晶材料に対する大規模アプリケーションの需要に効果的に対応できます。