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C/C断熱シリンダー

C/C断熱シリンダー

C/C断熱シリンダーは、単結晶シリコン成長用の熱場システムに使用される、断熱機能とサポート機能の両方を担う高性能断熱部品です。 Semicorex C/C 断熱シリンダーは、優れた断熱性能、優れた構造強度、競争力のある価格を備えており、高品質の結晶成長プロセスにとって理想的な選択肢となります。

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製品説明

C/C断熱シリンダーは、るつぼ、ヒーター、フローガイドチューブ、るつぼシャフトとともに、結晶成長に必要な熱場システムを構成します。 C/C断熱筒は、高温の結晶成長炉内のヒーターの周囲に設置され、るつぼ内の半導体材料の熱損失を大幅に防ぐ断熱層を形成するのが一般的です。 


なぜなら炭素-炭素複合材料熱伝導率が極めて低いため、熱場と外部環境の間の熱伝達を効果的に低減できます。 C/C断熱シリンダーはカーボンカーボン複合材料から作られており、優れた断熱特性を発揮し、結晶成長プロセスに安定した均一な熱場を作り出します。この一貫した熱環境により、結晶の品質が直接向上し(欠陥の減少、均一性の向上など)、生産歩留まりが向上します。


C/C 断熱シリンダーは、断熱性能に加えて、隣接するコンポーネント (るつぼやヒーターなど) に対する信頼性の高い機械的サポートも提供し、高温プロセス中の熱場全体の構造的安定性と動作信頼性を確保します。低密度かつ軽量という材料特性は、実際の運用においてエンドユーザーに多くのメリットをもたらし、現場での交換プロセスがより便利になり、生産における運用効率が向上します。


なぜなら


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