Poly-Si スロット付きリング

Poly-Si スロット付きリングは、一般に高度な半導体エッチング装置の反応チャンバーに設置されます。シリコンを含むシリコン部品と相乗的に作用します。フォーカスリング、シリコン外輪、シリコンシャワーヘッド。これらのパーツは、エッチングプロセスに安定した最適な反応環境を作り出すことができ、優れたエッチングプロセスを保証します。エッチング精度とプロセスの一貫性。

Semicorex ポリ Si スロットリングの機能

1. Semicorex Poly-Si スロットリングには、ガス通路となる複数の均等に配置されたスロットが装備されており、反応後のプロセスガスをスムーズに排出できます。

2. Semicorex ポリ Si スロット付きリングは優れたプラズマ制御を実現し、半導体エッチング装置の反応チャンバーに信頼性の高い保護を提供します。

3. Semicorex ポリ Si スロット付きリングは、電場とチャンバー圧力の調整に役立ち、不安定性がエッチング プロセスの一貫性に影響を与えるのを防ぎます。

高水準の材料選択

Semicorex ポリ Si スロットリングは、純度 99.9999% 以上の高品質多結晶シリコンから製造されており、以下のような優れた特性を備えています。

1. 超高純度で不純物含有量が極めて少ない。

2. 優れたプラズマ耐食性。

3. 抵抗均一性を備えた良好な電気特性: RRG ≤ 5%、低分解能。 (<0.02)、中解像度。 (1～4)、およびハイレゾ。 (70–90)。

製造能力と品質管理

Semicorex は高度な加工設備と経験豊富な技術チームを備え、各生産プロセスを厳密に管理し、高品質で適合性の高いポリ Si スロット リングを大切なお客様に提供しています。さらに、セミコレックスは、完成したポリシリコンスロットリングの寸法測定、抵抗率試験、外観検査を厳密に管理し、欠け、傷、亀裂、汚れなどの欠陥がないことを確認します。