横型石英ウェーハボート

横型石英ウェーハボート通常、熱処理装置の炉管内で半導体ウェーハを水平に保持し、外部加熱装置で加熱します。これらは、熱酸化、高温拡散、アニーリング、化学蒸着 (CVD) プロセスなど、要求の厳しい高温腐食性半導体熱処理プロセスで広く使用されています。

Semicorex横型石英ウェーハボートの機能

1.安定した保持・固定

Semicorex の横型石英ウェーハ ボートは耐荷重能力に優れており、複数の半導体ウェーハを常に安定してサポートできます。また、最適化された外部設計と正確なスロット構造により、ウエハース水平石英ウェーハボートに完璧にフィットし、しっかりと固定されているため、輸送や製造プロセス中の揺れ、変位、傾きによって引き起こされるウェーハの傷や衝突が大幅に減少します。

2.プロセス均一化支援

水平型石英ウェーハボートの等間隔スロット構造により、半導体ウェーハを整然と配置できるため、高温炉内に安定したスムーズなガス流場が形成されます。この構造設計により、各ウェーハ表面での一貫したガス接触と反応速度が実現され、不完全なウェーハ酸化、不均一な薄膜堆積、ドーピング濃度の偏差など、不均一な加熱やガス接触の差によって引き起こされるさまざまな欠陥が効果的に低減されます。

3.長寿命

Semicorexの横型石英ウエハーボートは、石英素材の優れた耐高温性により、1100～1200℃の高温に長時間耐えても変形や溶融がありません。石英酸素、窒素、塩化水素など、半導体プロセスで一般的に使用されるガスに対して化学的に不活性です。この優れた化学的不活性により、プロセスガスによる腐食のリスクが最小限に抑えられ、耐用年数が大幅に延長され、機器の交換時間とコストが削減されます。