Semicorex エピタキシー コンポーネントは、高度な半導体アプリケーション向けの高品質 SiC 基板の製造において重要な要素であり、LPE リアクター システムにとって信頼できる選択肢です。 Semicorex エピタキシー コンポーネントを選択することで、お客様は自信を持って投資し、競争の激しい半導体市場での生産能力を向上させることができます*。
Semicorex エピタキシー コンポーネントは、特に次の用途に使用するために設計された高性能 SiC コーティングされたグラファイト部品です。LPEリアクター、炭化ケイ素 (SiC) のエピタキシャル成長プロセスの LPE における重要な移行部分として機能します。この革新的なコンポーネントは、SiC 結晶成長の効率と品質を向上させる上で重要な役割を果たします。SiC 結晶成長は、パワー エレクトロニクス、高温センサー、最先端の半導体デバイスなどの幅広いアプリケーションに不可欠です。
高純度のグラファイトで構成され、耐久性のある炭化ケイ素の層でコーティングされたエピタキシー コンポーネントは、優れた熱伝導性と優れた機械的強度を兼ね備えています。のSiCコーティングコンポーネントの耐薬品性を向上させるだけでなく、優れた熱安定性も提供するため、LPE プロセスの厳しい条件に最適です。当社の細心の注意を払った製造プロセスにより、均一なコーティング厚さと性能の一貫性が保証され、結晶成長中の正確な制御が可能になります。
エピタキシー コンポーネントは、リアクター内の最適な流体力学を促進するように設計されており、成長材料の均一な分布を保証します。その革新的な設計は乱流を最小限に抑え、物質輸送を強化し、より均一で欠陥のない SiC 層を実現します。これは、結晶の品質がデバイスのパフォーマンスに直接影響を与えるアプリケーションでは非常に重要です。
SiCエピタキシー半導体業界、特に高電圧および高温で動作するパワーデバイスにとって、その重要性はますます高まっています。エピタキシー コンポーネントはこのプロセスの重要な部分であり、メーカーが現代の電子アプリケーションの厳しい要求を満たす高品質の SiC ウェーハを生産できるようになります。電気自動車、再生可能エネルギー システム、ハイパフォーマンス コンピューティング市場の成長に伴い、信頼性の高い SiC 基板の需要が高まり続けています。
エピタキシー コンポーネントの有効性はさまざまな LPE セットアップで証明されており、その性能は SiC 結晶の全体的な歩留まりと品質に大きく貢献します。このコンポーネントは、反応器内の異なる材料間に安定した遷移界面を提供することで、プロセス全体の信頼性を高め、ダウンタイムを削減し、スループットを向上させます。