窒化アルミニウムセラミックチャック

窒化アルミニウム セラミック チャックは、半導体ウェーハ処理の最先端のソリューションであり、製造のさまざまな段階でウェーハを所定の位置にしっかりと保持するように特別に設計されています。静電チャック (ESC) として機能するこの革新的なデバイスは、窒化アルミニウム セラミックの優れた特性を活用して、正確かつ信頼性の高いウェーハ保持を保証します。

Semicorex 窒化アルミニウム セラミック チャックは、静電力を利用してウェーハをその表面にしっかりとグリップします。これは、戦略的に高電圧でバイアスされる一体型電極を備えた、細心の注意を払って設計されたプラテンによって実現されます。その結果、プラテンとウェハの間に静電保持力が確立され、処理段階全体にわたってウェハを所定の位置に効果的に固定します。

窒化アルミニウムセラミックチャックの際立った特徴の 1 つは、高い熱伝導率と絶縁特性の驚くべき組み合わせです。このユニークな特性の組み合わせにより、ESC 用途に理想的な材料の選択肢となります。高い熱伝導率により効率的な熱放散が保証され、処理中にウェーハ全体に均一な温度分布を維持するために重要です。同時に、その卓越した絶縁特性によりチャックとウェハ間の電気的絶縁が実現され、電気的干渉や敏感な半導体コンポーネントへの損傷のリスクが最小限に抑えられます。

窒化アルミニウムセラミックチャックには、従来のチャック材料に比べていくつかの利点があります。堅牢な構造により長期にわたる耐久性が保証され、半導体製造環境の厳しい要求に耐えることができます。さらに、高温プロセスとの互換性と熱膨張に対する耐性により、一貫した高品質のウェーハ処理結果を達成するために不可欠なツールとなっています。