アルミナセラミックマニピュレーター

アルミナセラミックマニピュレーターアルミナセラミックフォークおよびウェーハハンドリングエンドエフェクターとも呼ばれます。ウエハハンドリングロボットに搭載されており、ロボットのハンドに相当します。半導体ウェーハの搬送、搬送、位置決めに使用されます。シリコンウェーハ他の粒子による汚染の影響を非常に受けやすいため、清浄度を確保するために通常は真空環境で扱われます。アルミナ セラミック マニピュレータは、負圧吸引を使用してウェーハを取り出し、アームの伸縮、回転、および持ち上げの動きを通じて半導体ウェーハを搬送します。アルミナセラミックマニピュレータの内部には空気穴と通気溝があり、エアを注入する際に真空を形成することができるため、半導体ウエハを挟んだり傷つけたりすることなく、軽い接触で半導体ウエハを吸着することができます。

組成が純粋であればあるほど、アルミナセラミックつまり、強度が高くなります。 Semicorex アルミナセラミックマニピュレータは高純度アルミナセラミック製です。これにより、優れた機械的強度と硬度が得られます。耐摩耗性はスチールやクロム鋼をはるかに上回っており、高摩擦環境下でも表面精度を長期間維持できるため、ウェーハに傷が付くリスクが軽減され、高精度の取り扱いに最適です。このアルミナセラミックマニピュレータは高い抵抗率を持っています。その優れた電気絶縁特性により、静電気干渉を効果的に防止し、粒子吸着のリスクを軽減して、きれいなウエハ表面を維持します。さらに、半導体製造プロセスには、装置内の複雑な回路と高電圧環境が含まれます。高抵抗のアルミナ セラミック マニピュレータは電流の伝導を効果的に遮断し、半導体ウェーハの取り扱い中の電気的安全性を確保します。アルミナセラミックの高温耐性と熱安定性のおかげで、マニピュレータは半導体熱処理プロセス中にほとんど変形せず、ウェーハを正確に位置決めすることができ、熱変形による精度のずれを回避できます。さらに、この材料は化学的安定性に優れており、酸、アルカリ、溶融金属などに対する耐腐食性が高く、他の物質と反応して汚染粒子を放出しにくいため、半導体部品を化学汚染から効果的に保護できます。