ウェハーローダーアーム

ウェーハローダーアームは高純度アルミナセラミック材料で作られており、半導体製造に不可欠な優れたレベルの清浄度を保証します。セラミックの純度が高いため、汚染のリスクが最小限に抑えられます。これは、取り扱い中のウェーハの完全性を維持するために不可欠です。この優れた清浄度は、たとえ最小の不純物でも最終製品の品質に重大な悪影響を与える可能性がある環境では不可欠です。

Semicorex のウェーハローダーアームの際立った特徴の 1 つは、±0.001mm という微細な公差を達成する精密製造です。このレベルの寸法精度により、アームは非常に高い精度でウェーハを取り扱うことができ、重要な処理段階での取り扱いミスや位置ずれのリスクが軽減されます。また、正確な寸法により既存の機器との互換性が確保され、現在の製造セットアップへのシームレスな統合が容易になります。

ウェーハローダーアームに使用されているアルミナセラミックは、1600℃までの温度に耐える優れた耐高温性を示します。この特性は高温環境での用途に役立ち、熱応力下でもアームの形状と構造的完全性を維持します。高温でのたわみが減少することで、最も要求の厳しい熱条件下でも、ウェーハハンドリングの信頼性と精度が向上します。

洗浄やエッチングなどの半導体プロセスにおいて、各種薬液に対して優れた耐食性を発揮します。アルミナ セラミック材料は、攻撃的な化学環境にさらされても安定した状態を保ち、その性能特性を維持します。この耐食性によりアームの寿命が延び、頻繁な交換やメンテナンスの必要性が減り、全体の効率が向上します。

ウェハーローダーアームの表面品質は細心の注意を払って管理されており、平均粗さ (Ra) 0.1 を達成し、金属汚染や粒子がありません。この高い表面品質により、ウェーハは慎重に扱われ、ウェーハの機能を損なう可能性のある傷、汚染、その他の表面欠陥が防止されます。最高の精度と清浄度が要求されるプロセスでは、きれいな表面を維持することが非常に重要です。

アルミナセラミック材料は、鋼やクロム鋼などの従来の材料をはるかに上回る耐摩耗性を備えています。この卓越した耐摩耗性により、ウェーハ ローダー アームは大幅な劣化を引き起こすことなく長期間の使用に耐えることができ、長期にわたりその精度と有効性を維持できます。磨耗の減少により、頻繁な部品交換の必要性が最小限に抑えられ、運用コストの削減にも貢献します。

ウェハーローダーアームは堅牢でありながら軽量であるため、装置への負担を効果的に軽減します。この重量の軽減により、ウェーハハンドリングシステムの全体的な効率が向上するだけでなく、関連する機械の耐用年数も延長されます。軽量化により、よりスムーズで高速な動きが容易になり、ウェーハハンドリングプロセスのスループットと信頼性が向上します。