ソーラーグラファイトボート

Semicorex ソーラー グラファイト ボートは、アニーリング、拡散、堆積などのさまざまな熱プロセス中に半導体ウェーハを保持する信頼性の高いプラットフォームとして機能します。堅牢な構造と優れた耐熱性により、ソーラー グラファイト ボートは、半導体製造、研究室、その他の高度な産業用途に不可欠なツールとなっています。

多用途性を念頭に置いて設計されたソーラー グラファイト ボートは、特定の顧客の要件を満たすようにカスタマイズできます。耐久性と化学的腐食に対する耐性を強化するために炭化ケイ素 (SiC) でコーティングされている場合でも、純度が最優先される用途のためにコーティングされていない場合でも、各ソーラー グラファイト ボートは、一貫したパフォーマンスと寿命を実現するために細心の注意を払って作られています。

ソーラーグラファイトボートの主な特徴は次のとおりです。

優れた熱安定性: 半導体プロセスで遭遇する極端な温度に耐え、均一な熱分布と熱サイクルの正確な制御を保証します。

高純度グラファイト構造: 汚染を最小限に抑え、半導体ウェーハの完全性を維持するために、高品質グラファイト素材から製造されています。

精密エンジニアリング: さまざまなウェーハ サイズと構成に対応できるように設計されており、正確な寸法と表面仕上げにより、安全な取り扱いとウェーハへの損傷を最小限に抑えます。

TaC コーティングされたグラファイト部品は、拡散プロセス、酸化アニーリング、低圧化学蒸着 (LPCVD)、プラズマ化学蒸着 (PECVD) などの主要な半導体処理技術の最適化において極めて重要な役割を果たします。 TaC コーティングされたグラファイト部品は、温度の正確な制御を容易にし、基板全体の均一性を確保することにより、製品の品質と製造効率の向上に大きく貢献します。

Semicorex TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体製造の厳しい要求を満たすよう細心の注意を払って設計されています。拡散プロセスの強化からさまざまな成膜技術の品質と効率の向上に至るまで、TaC コーティングされたグラファイト部品は、半導体製造の卓越性を追求する上で不可欠な資産です。