SiCボートホルダー

Semicorex の SiC ボートホルダーは、SiC から革新的に鍛造されており、太陽光発電、電子、半導体の分野で極めて重要な役割を担うように明確に調整されています。 Semicorex SiC ボートホルダーは精密に設計されており、処理、輸送、保管などあらゆる段階でウェーハを保護し、安定した環境を提供します。その綿密な設計により、ウェーハの変形を最小限に抑え、稼働率を最大化するために重要な寸法精度と均一性が保証されます。

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製品説明

半導体製造分野におけるウェーハの保護と操作のための典型的な装置として、この SiC ボートホルダーは高品質の炭化ケイ素で構成されています。この材料は、腐食環境に耐え、高温に耐え、熱衝撃に効果的に耐える模範的な能力により選択されています。 Semicorex SiC ボートホルダーの高度なセラミック組成は、優れた耐熱性とプラズマ弾性を確保し、同時にかなりの容量のウェーハキャリアに対する粒子の付着と汚染を軽減します。

アニーリングや拡散などの熱処理において、SiC ボートホルダーは、ウェーハ表面全体に均一な温度分布を実現するのに役立ちます。優れた熱伝導率のおかげで、SiC ボートホルダーは最適な熱分散を促進し、熱の不一致を抑制し、均一な処理結果を促進します。

もう 1 つの賞賛に値する特性はその長寿命であり、太陽電池の大量生産における磨耗の問題に対処するのに特に有益です。したがって、SiC ボートホルダーは、重要な産業慣行全体で効率と耐久性を強化する上で極めて重要な要素として浮上します。

さらに、カスタマイズは当社の製品の特徴です。当社は、お客様と緊密に連携して、特定の要件に準拠したオーダーメイドの SiC ボートホルダーソリューションを開発することに尽力しています。当社は、顧客の緊急事態に合わせた、優れた信頼性の高い製品を製造し、供給することに専念しています。