Semicorex アルミナセラミックロボットアーム

高い清浄度、優れた平行度、正確な寸法、安定した信頼性、効率的な動作を特徴とするセラミックロボットアームは、最先端の半導体製造に広く使用されている不可欠な部品です。産業オートメーションの継続的な進歩に伴い、セラミックロボットアームの市場需要は着実に成長し続けています。

Semicorex アルミナセラミックの材料特性

ウェーハ製造、太陽光発電分野、精密エレクトロニクス分野などのハイエンド産業では、機器コンポーネントに厳しい運用要件が課されます。セミコレックスアルミナセラミックロボットアームは、以下に示す優れた材料性能により、真空および高温条件下での半導体製造の厳しい要求を十分に満たすことができます。  

1. 高い機械的強度と硬度

2. 高い融点と信頼性の高い熱安定性

3. 優れた化学腐食性

4. 優れた電気絶縁性能

Semicorex アルミナセラミックのデータシート

上記のデータは参考用です

Semicorexアルミナセラミックロボットアームの応用例

1.高精度ハンドリング

セミコレックスアルミナセラミックロボットアーム半導体および太陽光発電分野の汚染に敏感なウェーハ製造ワークショップでの安定したウェーハハンドリングと高精度ウェーハグリップと搬送に最適で、ウェーハの清浄度とチップ歩留まりを確実に確保します。

2.化学処理

Semicorex アルミナ セラミック ロボット アームは、強酸や強アルカリの腐食に耐えることができ、化学工業や新エネルギー電池生産分野など、過酷な化学条件下での動作に適しています。

3.高温製造Semicorexアルミナセラミックロボットアームは、厳しい高温環境下でも信頼性の高い強度と安定性を維持するという要求を満たすことができるため、ガラス製造、鋳造、冶金の分野で広く使用できます。