石英ガラス台座

Semicorex 石英ガラス台座は、半導体製造の複雑な状況において強力な柱として立っています。高純度の石英から作られた石英ガラス台座は、さまざまな処理段階を通じてシリコンウェーハが繊細に踊るための安定したプラットフォームとして機能します。その設計は、半導体製造の要求の厳しい分野において不可欠な品質である精度と信頼性を体現しています。

石英ガラス台座は比類のない熱安定性を提供し、重要な熱処理ステップ中に均一な熱分布を保証します。高温や過酷な化学環境に対する優れた耐性により、半導体ウェーハの完全性を保護し、性能を損なう可能性のある悪影響から半導体ウェーハを守ります。

石英ガラス台座は、堆積またはエッチングされる半導体層の完全性を損なう可能性のある欠陥がなく、きれいな表面仕上げを誇っています。滑らかで非反応性の表面により汚染が最小限に抑えられ、半導体材料の純度が維持され、製造プロセスの歩留まりが向上します。

多用途性も、この重要なコンポーネントのもう 1 つの特徴です。石英ガラスペデスタルは、エピタキシャル成長、プラズマエッチング、またはイオン注入プロセスのいずれで使用される場合でも、さまざまな用途にシームレスに適応し、半導体製造施設の効率と柔軟性に貢献します。