クォーツ 12 インチ台座

Semicorex Quartz 12 インチ ペデスタルは、その優れた精度と信頼性により、半導体デバイスの品質と効率を確保する上で重要な役割を果たします。高純度の石英で製造された石英 12 インチ ペデスタルは、優れた耐熱性と耐薬品性を備えており、拡散プロセス中に遭遇する過酷な環境に最適です。石英は、その純度と安定性で知られる材料です。これらは、わずかな不純物でも最終製品に重大な欠陥を引き起こす可能性がある半導体製造にとって不可欠な特性です。

12 インチのペデスタルは、拡散プロセス中に半導体ウェーハを均一にサポートできるように細心の注意を払って設計されています。その設計により、ウェーハ表面全体に均一な熱分布が保証されます。これは、一貫したドーピング レベルと均一な電気特性を達成するために重要です。ペデスタルの正確な寸法と表面仕上げは最高水準に維持され、ウェーハへの汚染や損傷のリスクを最小限に抑えます。

拡散プロセスでは、シリコン基板にドーパントを導入するためにウェーハが高温と反応性ガスにさらされます。クォーツ 12 インチ ペデスタルは、これらの極端な条件に耐え、長期間の使用にわたって構造の完全性と性能を維持します。優れた熱安定性により、繰り返しの加熱と冷却のサイクルに変形や劣化なく耐えることができ、これはプロセスの一貫性と信頼性を維持するために不可欠です。

石英 12 インチ ペデスタルは、幅広い拡散炉やプロセス条件と互換性があります。既存の装置セットアップにシームレスに統合できるように設計されており、プロセス能力の強化を目指すメーカーに簡単なアップグレード パスを提供します。台座の堅牢な構造と高純度石英素材も耐用年数の延長に貢献し、交換やメンテナンスの頻度が減り、全体の運用コストが削減されます。

クォーツ 12 インチ ペデスタルの表面品質は、そのパフォーマンスに寄与するもう 1 つの重要な側面です。台座は厳密な研磨および洗浄プロセスを経て、粒子の発生や汚染の可能性を低減する鏡面仕上げになっています。この高レベルの清浄度は、微細な粒子でさえ欠陥や歩留まりの低下につながる可能性がある半導体業界では不可欠です。また、滑らかな表面により、掃除やメンテナンスが容易になり、台座がその寿命を通じて最適な状態に保たれます。