Semicorex ウェーハエピタキシャル用 SiC コーティングバレルサセプタは、その非常に平坦な表面と高品質の SiC コーティングにより、単結晶成長アプリケーションに最適です。融点が高く、耐酸化性、耐食性があるため、高温や腐食性の環境での使用に最適です。