Semicorex は、MOCVD 用炭化ケイ素コーティンググラファイトサセプタの信頼できるサプライヤーおよびメーカーです。当社の製品は、ウェーハチップ上にエピタキシャル層を成長させる際の半導体業界のニーズを満たすように特別に設計されています。この製品はMOCVDのセンタープレートとして使用され、ギアまたはリング状のデザインが施されています。高い耐熱性と耐腐食性を備えており、過酷な環境での使用に最適です。
続きを読むお問い合わせを送信Semicorex の ICP プラズマ エッチング システム用 SiC コーティング キャリアは、エピタキシーや MOCVD などの高温ウェーハ ハンドリング プロセスにとって信頼性が高くコスト効率の高いソリューションです。当社のキャリアは、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を提供する微細な SiC 結晶コーティングを備えています。
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