エピタキシーや MOCVD などのウェーハ ハンドリング プロセスに関しては、Semicorex のプラズマ エッチング チャンバー用高温 SiC コーティングが第一の選択肢です。当社のキャリアは、微細な SiC 結晶コーティングにより、優れた耐熱性、均一な熱均一性、耐久性のある耐薬品性を備えています。